JGS1,JGS2,JGS3光學(xué)石英玻璃片
在光學(xué)元件中的光學(xué)石英玻璃按光譜應(yīng)用范圍主要可分為JGS1、JGS2、JGS3三種牌號(hào):
JGS1 遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃 185nm- 2500 nm
JGS2 紫外光學(xué)石英玻璃 220nm- 2500 nm
JGS3 紅外光學(xué)石英玻璃 260nm- 3500 nm
注:可見(jiàn)光石英玻璃可在以上三種牌號(hào)內(nèi)任意選擇。
2.光學(xué)石英玻璃按下列各項(xiàng)質(zhì)量指標(biāo)分類和定級(jí)。
(1)光譜特性:分三類;
(2)光學(xué)均勻性:分五類。
(3)雙折射:分五類;
(4)條紋:分三類和三級(jí);
(5)顆粒不均勻性:分三類;
(6)氣泡:分七類;
(7)熒光特性:分二類。
3.光譜特性
1)JGS1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃按光譜特性分為三類(見(jiàn)表2)。
表2
厚度10毫米毛坯的透過(guò)率(%)
類別 185 200 220 240 300 185- 1200
1 >85 >85 >85 >87 >90 無(wú)吸收峰
2 >70 >80 >80 >80 >85 無(wú)吸收峰
3 >70 >70 >70 >80 允許有吸收峰
(2)JGS2紫外光學(xué)石英玻璃按光譜特性分三類(見(jiàn)表3)。
表3
厚度10毫米毛坯的透過(guò)率(%)
類別 200 240 300
1 >80 >75 >80
2 >75 >70 >75
3 >65 >70
(3)JGS3紅外光學(xué)石英玻璃按光譜特性分為三類(見(jiàn)表4)。
表4
厚度10毫米毛坯的透過(guò)率(%)
類別 2000 2500 2700 2800 2600- 2800
1 >90 >90 >90 >85 無(wú)吸收峰
2 >85 >85 >85 >80 無(wú)吸收峰
3 >80 >80 >75 >75 允許有吸收峰
(4)JGS1、JGS2、JGS3厚度10毫米毛坯可見(jiàn)光部分平均透過(guò)率均應(yīng)大于90%。
4.光學(xué)均勻性按最小鑒別角(φ)與理論鑒別角(φ0)之比,分為五類見(jiàn)表。理論鑒別角φ0等于120′/D(圓孔)或115′/D(長(zhǎng)方孔)D為平行光管的光欄尺寸,并與毛坯的直徑(圓形毛坯)或邊長(zhǎng)(長(zhǎng)方形毛坯用以計(jì)算φ0的邊)相等。
表5
類 別 φ/φ0*比值
1 1.0
2 1.0
3 1.1
4 1.2
5 1.5
一類均勻性還需進(jìn)行星點(diǎn)檢查,星點(diǎn)繞射應(yīng)是明亮的圓點(diǎn),外面有些同心的圓環(huán),但不應(yīng)出現(xiàn)斷裂、尾翅、畸角及扁圓變形等現(xiàn)象。
5.雙折射分為五類(見(jiàn)表6)。
6.條紋。
(1)在條紋儀上,按規(guī)定方向觀察毛坯時(shí),條紋度按表7分為三類。
表6
類 別 *光程差(毫微米/厘米)
1 2
1a 4
2 6
3 10
4 20
注:異形產(chǎn)品按協(xié)議協(xié)商解決。
表7
類 別 觀察結(jié)果
1 在屏上不應(yīng)出現(xiàn)任何條紋影象
2 在屏上可發(fā)現(xiàn)條紋影象,每平方厘米不多于3條,寬度不超過(guò)
1毫米,平行條紋所產(chǎn)生的雙折射,不超過(guò)規(guī)定值的0.5倍
3 在屏上可發(fā)現(xiàn)條紋影象,其雙折射不超過(guò)規(guī)定的1倍
(2)根據(jù)規(guī)定觀察毛坯的方向數(shù),條紋按表8分為三級(jí)。
表8
級(jí) 別 觀察毛坯的方向數(shù)
A 3
B 2
C 1
7.顆粒不均勻性,在條紋儀上按顆粒影象分為三類(見(jiàn)表9)。
表9
類 別 觀察投影屏影象
1 不出現(xiàn)任何不均勻顆粒影象
2 允許出現(xiàn)不均勻顆粒影象,見(jiàn)標(biāo)樣
3 出現(xiàn)不均勻顆粒影象
8.氣泡,按大小及數(shù)量分為七類(見(jiàn)表10)。
表10
類 100克毛坯 允許毛坯中氣泡的直徑(毫米)及個(gè)數(shù) 1.1- 3毫米透明 3.1- 5毫米透中氣泡總數(shù) 雜質(zhì)及不透明雜質(zhì)
0.03- 0.30 0.31- 0.70 0.71- 1.00 1.01- 2.00 質(zhì)(100克毛坯 (1公斤毛坯中別 個(gè) 中允許個(gè)數(shù)) 允許個(gè)數(shù))
0 不允許 不允許 不允許 不允許 不允許 不允許 不允許
1 5 總數(shù)以內(nèi) 不允許 不允許 不允許 不允許 不允許 不允許
2 30 總數(shù)以內(nèi) ≤2* 1* 不允許 1 不允許
3 100 總數(shù)以內(nèi) ≤5 ≤2* 不允許 1 1
4 300 總數(shù)以內(nèi) ≤15 ≤3 不允許 ≤3 ≤2
5 700 總數(shù)以內(nèi) ≤50 ≤3 ≤2 ≤4 ≤3
6 1000 總數(shù)以內(nèi) ≤100 ≤15 ≤4 ≤5 ≤4
注:
①代“*”者只允許透明、不透明雜質(zhì)。
②扁長(zhǎng)氣泡或雜質(zhì),取最長(zhǎng)軸和最短軸的算術(shù)平均值為直徑。
③氣泡密集處以每平方厘米不得超過(guò)平均總數(shù)的三倍。
④尺寸小于1毫米的透明與不透明雜質(zhì)按氣泡計(jì)算。
⑤透明與不透明雜質(zhì)包括,薄膜、藍(lán)斑、氣泡夾雜物、氣泡群、晶體顆粒、灰白點(diǎn)、透明斑、褐色斑、黑點(diǎn)。
⑥群集狀雜質(zhì)或氣泡群的計(jì)算方法,按外圍雜質(zhì)或氣泡總外徑計(jì)算(密集雜點(diǎn)或小氣泡中,點(diǎn)間距離不得大于2毫米)。
⑦對(duì)于1和2類玻璃不允許有帶雙折射區(qū)域的雜質(zhì)。
9.按熒光特性分為二類(見(jiàn)表11)。
表11
類 別 熒光特性
1 不允許發(fā)生熒光
2 允許發(fā)生熒光
12.生產(chǎn)廠必須保證在使用溫度下,不出現(xiàn)高溫變色。
三、試驗(yàn)方法
13.光譜特性的測(cè)量,可采用各種分光光度計(jì),測(cè)量精度不低于1.0%,檢驗(yàn)光學(xué)石英玻璃的試樣應(yīng)當(dāng)是拋光的,其厚度為10毫米。玻璃的光譜特性采用抽樣辦法測(cè)量或按協(xié)議要求測(cè)定。
14.采用與所測(cè)試樣相適應(yīng)口徑的平行光管檢驗(yàn)光學(xué)均勻性,根據(jù)儀器精度選用適當(dāng)號(hào)數(shù)的鑒別率板。
目鏡放大倍數(shù)為15- 20倍。
15.用偏光計(jì)檢驗(yàn)毛坯的雙折射。用于測(cè)量的毛坯,觀察面長(zhǎng)、短邊之比不少于2∶l;如不到2∶l,按協(xié)議要求測(cè)量。對(duì)于1類雙折射要求的毛坯,其測(cè)量允許誤差為
±0.5毫微米/厘米,對(duì)于其他類別為±0.8毫微米/厘米,光程差以通過(guò)測(cè)量方向的中部測(cè)量數(shù)據(jù)為準(zhǔn),用每厘米*光程差,為毛坯的雙折射數(shù)值。對(duì)于圓形大塊毛坯,尚須補(bǔ)充測(cè)定在距邊緣等于直徑5%的圓周上,測(cè)出光程差的*值,并計(jì)算每厘米的光程差,對(duì)于矩形毛坯,在長(zhǎng)邊中間相應(yīng)兩點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量,并取較大值計(jì)算光程差。
16.條紋度按表16所規(guī)定的條件進(jìn)行測(cè)量。
表16
發(fā)光點(diǎn)直徑 毛坯與投影屏距離 發(fā)光點(diǎn)與投影屏距離 *照度
毫米 毫米 毫米 勒克斯
2 500 750 75
條紋的檢驗(yàn)應(yīng)遵守以下規(guī)定:
(1)被測(cè)玻璃放入液槽后,屏上照度不得低于50勒克斯,被檢玻璃應(yīng)用302號(hào)金剛砂細(xì)磨,拋光后的樣品以不發(fā)現(xiàn)加工造成的劃痕和麻點(diǎn)為準(zhǔn)。
(2)折射液與毛坯之差不大于2X10-3。
(3)對(duì)于1類均勻性要求的毛坯,當(dāng)一個(gè)方向測(cè)量時(shí)允許轉(zhuǎn)動(dòng)45°或更大的角度。
17.毛坯尺寸可用能保證需要精度的任何測(cè)量工具進(jìn)行檢驗(yàn),毛坯的角度值,可用任何角度或能保證需要精度的樣板檢驗(yàn)。
18.檢驗(yàn)成倍毛坯時(shí),必須考慮到訂貨時(shí)對(duì)單個(gè)毛坯所規(guī)定的要求和尺寸。
19.凡本技術(shù)條件未規(guī)定的儀器條件,供需雙方另行協(xié)商。
四、驗(yàn)收規(guī)則
20.每批玻璃均應(yīng)經(jīng)生產(chǎn)單位的技術(shù)檢驗(yàn)部門檢驗(yàn),保證出廠產(chǎn)品符合本標(biāo)準(zhǔn)的要求及訂貨的技術(shù)條件。
21.每批玻璃毛坯應(yīng)附有一定格式的產(chǎn)品合格證。合格證上應(yīng)注明:訂貨方按本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定提出的全部質(zhì)量指標(biāo)及其他特殊要求的數(shù)據(jù),并有檢驗(yàn)員印章。
22.玻璃毛坯質(zhì)量檢驗(yàn)必須按本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定方法進(jìn)行,成果用其他不低于本標(biāo)準(zhǔn)精度的方法進(jìn)行。
23.訂貨方以生產(chǎn)單位的產(chǎn)品合格證為依據(jù)進(jìn)行驗(yàn)收。訂貨方有權(quán)按本協(xié)議規(guī)定方法,對(duì)收到的玻璃進(jìn)行抽驗(yàn);如發(fā)現(xiàn)不符合標(biāo)準(zhǔn)要求或訂貨條件時(shí),可以退貨。如有爭(zhēng)論時(shí),可將該批玻璃按一定手續(xù)交仲裁部門鑒定。
石英視窗,石英觀察窗,高溫視窗
UV半球10-30°石英玻璃透鏡
氣相色譜儀石英襯管系統(tǒng)
紫外熒光定硫儀石英管 熒光定硫儀石英管 石英裂解管 石英管
4寸,6寸,8寸,12寸石英晶圓片
酶標(biāo)儀測(cè)定紫外 弘康石英96孔石英玻璃一體式 透明酶標(biāo)板 微孔板
石英電極絕緣子 石英支撐絕緣子 石英絕緣子(電極)
高壓絕緣子,石英絕緣子,鋼鐵廠降壓站用石英絕緣子
半導(dǎo)體石英玻璃管用途
2019年全球石英材料應(yīng)用領(lǐng)域需求:石英玻璃、航空航天、半導(dǎo)體、光纖光纜市場(chǎng)需求旺盛
半導(dǎo)體行業(yè)新材料深度報(bào)告:硅片、光刻膠、靶材、電子特氣等
石英反應(yīng)管的使用與維護(hù)
石英玻璃行業(yè)發(fā)展概況及產(chǎn)業(yè)鏈分析
石英玻璃為何是半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化替代戰(zhàn)場(chǎng)重要一環(huán)?
UV LED的發(fā)展史
石英紫外線燈*的原理是什么?
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